产品介绍TAOMSUN陶迈森｜紫外级单晶氟化钙｜面型PV≤30nm｜粗糙度Sa≤0.2nm｜支持D/R＜1.3严苛薄壁结构加工
TAOMSUN陶迈森深紫外氟化钙（CaF2）双凹透镜/弯月透镜，是面向深紫外光刻、高功率激光、高精度光谱分析开发的精密光学元件。产品采用紫外级单晶氟化钙基底，在190nm‑7μm波段实现高透过率，低热膨胀系数、高光学均匀性，解决石英镜片深紫外波段吸收大、激光易损伤、使用寿命短的行业痛点。
✅ 深紫外‑中红外宽波段透过
✅ 面型 PV ≤30nm，RMS ≤3nm
✅ 表面粗糙度 Sa ≤0.2nm（原子级表面）
✅ TAOMSUN擅长D/R＜1.3薄壁弯月、双凹复杂曲面抛光
深紫外双凹透镜弯月透镜
| 项目 | 参数 | 备注 |
|---|---|---|
| 直径范围 | Φ8~Φ100mm | 直径公差±0.01mm |
| 曲率半径 | R8mm ~ ∞ | 支持双凹、弯月结构 |
| D/R比值 | ＜1.3 | 适配薄壁弯月、双凹透镜加工 |
| 中心厚/直径 | ＞1/10 | 保证透镜力学稳定性 |
| 中心厚度公差 | ±0.02mm | |
| 光洁度 | 优于40/20 | 美标 |
| 面型PV | ≤30nm | @632.8nm Zygo干涉仪检测 |
| 面型RMS | ≤3nm | @632.8nm Zygo干涉仪检测 |
| 偏心 | ＜15″ | 偏心仪检测 |
| 粗糙度Sa | ≤0.2nm | AFM原子力显微镜实测 |
备注：TAOMSUN陶迈森每件产品出货均可附带Zygo干涉仪、AFM、偏心仪全套检测报告。
| 检测项目 | 检测仪器 | 实测值 | 企业标准 |
|---|---|---|---|
| 面型PV | Zygo干涉仪 | 14.8nm | ≤30nm |
| 面型RMS | Zygo干涉仪 | 1.7nm | ≤3nm |
| 粗糙度Sa（均值） | AFM | 0.231nm | ≤0.2nm* |
| 批次一致性Cv% | AFM多组统计 | 21.0% | 批次性能稳定 |
*标准品均值0.231nm，特殊定制优化可做到Sa≤0.2nm
超宽透过波段：190nm‑7μm，覆盖深紫外、可见、中红外，适配光刻、光谱、红外检测；
低色散、高光学均匀性，降低波前畸变，避免成像、光谱测试偏移；
高激光损伤阈值，适合高功率激光系统使用；
良好抗热震、化学稳定性，环境适应性强，长期使用性能衰减小。
TAOMSUN陶迈森擅长弯月透镜、双凹透镜复杂曲面加工，通过特殊抛光与应力控制工艺，实现D/R＜1.3薄壁透镜，同时保证纳米级面型与超低粗糙度。
区分：本产品为紫外级单晶CaF2，非多晶氟化钙，深紫外无明显吸收。
双凹透镜：两面均为凹面，主要用于光束发散、扩束、降低系统焦距；
弯月透镜：一面凹一面凸，多用于色差校正、光束整形、像差补偿。
镀膜：可定制深紫外增透AR、可见‑红外增透膜（AR@190‑400nm / AR@2‑7μm等）
非标：支持来图定制，可按图纸加工特殊曲率、尺寸要求。
深紫外光刻检测
高功率激光系统
光谱分析仪器
计量检测设备
半导体晶圆缺陷检测
荧光光谱、拉曼光谱设备
应用场景：光刻物镜、晶圆检测、激光整形、分光光度计，实现低畸变光束传输、高质量成像。
向TAOMSUN陶迈森询价定制，请尽量提供以下信息，便于快速工艺评审与报价：
透镜类型：双凹透镜 / 弯月透镜
直径、R1曲率半径、R2曲率半径、中心厚度
工作波段、镀膜需求
面型、光洁度、偏心等精度指标
样品或批量数量
问：D/R小于1.3的氟化钙薄壁透镜可以加工吗？
答：TAOMSUN可以实现D/R＜1.3弯月、双凹氟化钙透镜，通过应力控制抛光保证面型不畸变。
问：单晶氟化钙对比多晶氟化钙差别是什么？
答：单晶氟化钙在190‑300nm深紫外透过率高；多晶氟化钙深紫外存在吸收，不适合深紫外系统。
问：是否可以提供完整检测报告？
答：每片出货可提供Zygo干涉仪、AFM、偏心仪检测原始报告。
问：定制镀膜产品是否支持退换？
答：标准未镀膜样品可验证；定制、已镀膜产品，非质量问题不予退换。
来图/参数提供 → TAOMSUN工艺评审 → 样品试制 → 批量交付
每片透镜经过干涉仪、AFM、偏心仪全套检测，可提供完整纸质/电子版检测报告。
说明：标准未镀膜样品可做验证测试；定制化、已镀膜产品，非质量问题不予退换。
💎从深紫外光刻到中红外检测，TAOMSUN陶迈森深紫外氟化钙（CaF2）双凹透镜/弯月透镜以纳米级面型精度，服务光学系统。
支持非标图纸定制，欢迎提供透镜参数快速报价。
备注：提供完整检测报告（Zygo干涉仪+AFM+偏心仪），非标定制快速响应。
深紫外双凹透镜弯月透镜
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